Axus Technology y Compound Photonics se asocian para procesar el desarrollo de micro LED monolíticos

Axus Technology, un proveedor de CMP, soluciones de procesamiento de superficies de pulido y adelgazamiento de obleas para aplicaciones de semiconductores, anunció la colaboración con Compound Photonics (CP, también conocida como CP Display), un desarrollador de soluciones de micropantallas para AR / MR. Las dos partes trabajarán para acelerar píxeles de menos de 5 µm Micro LED desarrollo al mercado masivo.

Axus y CP se están asociando para integrar procesos críticos a escala de obleas necesarios para la ampliación de la producción en masa de las pantallas Micro LED de 2 µm píxeles y 1080p de CP para las próximas generación de gafas AR Específicamente, Axus desplegará su sistema Capstone ™ CMP con limpieza post-CMP integrada para permitir soluciones de proceso de preparación de superficies y planarización de obleas para una unión exitosa a escala de obleas de obleas Micro LED a placas posteriores CMOS de alto rendimiento.

La capacidad de procesamiento CMP de Axus es clave para habilitar el esquema de proceso de integración Micro LED, agnóstico epi-sustrato, de píxeles pequeños y patentado de CP. múltiples obleas y rendimiento de planaridad dentro del troquel / oblea para permitir de manera confiable la unión de contactos eléctricos a escala de varios millones de micrones entre micro LED y obleas de plano posterior CMOS. Esto aborda un requisito crítico del proceso de producción en masa para producir módulos de micropantalla de manera consistente con la uniformidad visual requerida, que es necesaria para aplicaciones AR / MR compactas, de baja potencia y alto brillo.

Axus y CP han colaborado desde principios de 2020 para desarrollar la integración del proceso de unión a escala de obleas entre la matriz de Micro LED y las obleas del backplane CMOS. La asociación intensificada anunciada recientemente demostró más el compromiso de ambas empresas de avanzar en los procesos e integración de las pantallas Micro LED.

Julie Chao, directora de desarrollo de productos de CP Display, comentó:“ Estamos encantados de trabajar con Axus para desarrollar CMP y soluciones de limpieza que permitan unir el backplane CMOS de CP a cualquier oblea Micro LED de menos de 5 µm de píxeles. Al trabajar juntos en MiARA, los ciclos de mejora de procesos se aceleran naturalmente. Esto es imperativo para cumplir con el cronograma del mercado desde los desarrolladores hasta los clientes finales ".

Micro LED sigue emergiendo como la solución de visualización más potencial para cumplir con los requisitos críticos de las aplicaciones AR / MR. Las innovaciones en el proceso de fabricación son fundamentales para habilitar el costo reducciones y producciones de volumen para la comercialización de auriculares AR / MR.