A Axus Technology e a Compound Photonics fazem parceria para processar o desenvolvimento de micro LE

A Axus Technology, fornecedora de soluções de processamento de superfície de desbaste e polimento de wafer CMP para aplicações de semicondutores, anunciou a colaboração com a Compound Photonics (CP, também conhecida como CP Display), um desenvolvedor de soluções de microdisplay para AR / MR. As duas partes trabalharão para acelerar pixels sub 5 µm Micro LED desenvolvimento para o mercado de massa.

Axus e CP estão fazendo parceria para integrar processos críticos de escala de wafer necessários para escala de produção em massa de pixel de 2 µm da CP, displays Micro LED 1080p para o próximo geração de óculos AR. Especificamente, a Axus implantará seu sistema Capstone ™ CMP com limpeza pós-CMP integrada para permitir a planarização de wafer e soluções de processo de preparação de superfície para a colagem bem-sucedida em escala de wafer de wafers Micro LED a backplanes CMOS de alto desempenho.

A capacidade de processamento CMP da Axus é a chave para habilitar o esquema de processo de integração de Micro LED independente de pixel pequeno e epi-substrato da CP. O sistema Capstone CMP fornece a repetibilidade. vários wafers e desempenho de planaridade dentro de die / wafer para permitir a ligação confiável de contatos elétricos de vários milhões de mícrons entre Micro LED e wafers de backplane CMOS. Isso atende a um requisito de processo de produção em massa crítica para produzir módulos de microdisplay de forma consistente com uniformidade visual exigida para aplicações AR / MR compactas de baixo consumo de energia e alto brilho.

Axus e CP têm colaborado desde o início de 2020 para desenvolver a integração do processo de ligação em escala de wafer entre matriz de Micro LED e wafers de backplane CMOS. A parceria intensificada anunciada recentemente demonstrou ainda mais o compromisso de ambas as empresas para avançar os processos e integração de fab de tela Micro LED.

Julie Chao, Diretora de Desenvolvimento de Produto da CP Display, comentou:“ Estamos entusiasmados em trabalhar com a Axus para desenvolver CMP e soluções de limpeza que permitem a colagem do backplane CMOS do CP a qualquer pastilha de micro LED de pixel abaixo de 5 µm. Trabalhando juntos no MiARA, os ciclos de melhoria do processo são naturalmente acelerados. Isso é fundamental para cumprir a programação do mercado, desde os desenvolvedores até os clientes finais. ”

Micro LED continua a emergir como a solução de exibição com maior potencial para atender aos requisitos críticos de aplicações AR / MR. Inovações no processo de fabricação são essenciais para permitir custos reduções e produções de volume para a comercialização de fones de ouvido AR / MR.